过程监测设备
    包括黏度仪、测厚仪、各种规格的显微镜、耐压仪CJ26715、绝缘测试仪TH2681、EMI/EMC测试系统844115EM，可靠性计算及预测ALD、高低温试验箱AGSL-10KA等。
电性能测试设备
   拥有8363B、8720ET，8720ES等各种准矢量和矢量网络分析仪，Agilent噪声系数仪N8975A，Agilent频谱分析仪E4440A，毫米波噪声测试系统.陶瓷/磁性材料测试用的高低频阻抗分析仪，如Agilent4284、4285、4291、4292，以及LCR电桥测试仪AV2782、AV2781A等，
 
微观分析设备
微观结构测试、分析系统拥有扫描电镜SEM、原子力显微镜AFM、磁力显微镜、XRD等，可以开展材料、器件的微观分析和失效分分析